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本发明公开了一种喷淋头以及气相沉积设备。所述喷淋头包括：喷淋头体及在喷淋头体的下方设置有至少包括导电层的热壁板，且所述导电层连接有电源，如此不仅能够吸收由加热器产生的热量从而保证一定的温度，在接通电源后，电流使得导电层通电发热，能够更好的提...
该专利属于光垒光电科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光垒光电科技（上海）有限公司授权不得商用。

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