下载一种提高金属工件表面力学性能的方法的技术资料

文档序号:9030650

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本发明公开了一种提高金属工件表面力学性能的方法,其步骤主要是:首先将金属工件进行溅射清洗,然后在磁控溅射设备中,周期性交替改变金属工件表面与溅射靶材平面法线的夹角,进行溅射沉积,在金属工件上沉积得到晶粒取向不同的多层陶瓷薄膜。采用该方法能在...
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