温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种曝光机的玻璃基板支撑机构，包括基座、安装在基座顶部且用于支撑玻璃基板的支撑平台、安装在基座四周，用于支撑玻璃基板四周的支撑杆、以及安装在所述玻璃基板上方的至少一个吸附装置；吸附装置用于吸附玻璃基板的上表面并可沿竖直方向运...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。