温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种版架，用于掩模版处理机，包括版架本体和设置于所述版架本体上的多组突起组件，每组所述突起组件包括四个突起，且四个所述突起位于同一圆上且周向均匀分布；所述多组突起组件的突起所在的圆为同心圆且直径均不相同，且所述突起的高度与其...
该专利属于无锡华润微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华润微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。