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刻蚀烘烤设备的反应炉制造技术
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下载刻蚀烘烤设备的反应炉的技术资料
文档序号:9018335
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本实用新型提供了一种刻蚀烘烤设备的反应炉,所述反应炉包括反应室组件、加热组件以及冷却组件,其中,所述反应室组件包括反应罩,所述反应罩上设有通气管,反应气体通过所述通气管输入到反应罩内部;所述加热组件包括红外灯管组件,所述红外灯管组件设置在所...
该专利属于杭州士兰明芯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州士兰明芯科技有限公司授权不得商用。
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