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具有原位表面钝化的离子注入选择发射极太阳能电池制造技术
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文档序号:9010264
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本发明公开了一种太阳能电池及其制造方法。根据本发明的一个实施方式,太阳能电池的制造方法包括:提供一个p-型掺杂硅基底,以及通过离子注入将n-型掺杂剂引入基底的前面的第一区和第二区,第二区的掺杂度高于第一区的掺杂度。基底进行一次高温退火循环,...
该专利属于桑艾维公司所有,仅供学习研究参考,未经过桑艾维公司授权不得商用。
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