下载防扩散层及制备方法、薄膜晶体管、阵列基板、显示装置的技术资料

文档序号:9008391

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种防扩散层及制备方法、薄膜晶体管、阵列基板、显示装置,属于显示装置的制备技术领域,其可解决现有技术中采用PVD或CVD制备二氧化钽防扩散层所需环境温度较高而引起栅极挥发,影响显示装置性能的问题。本发明的防扩散层的制备方法包括:将...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。