下载一种频率可调的微扫描反射镜及其荧光成像应用的技术资料

文档序号:9007400

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本发明公开了一种频率可调的微扫描反射镜及其荧光成像应用,包括反射镜,特点是反射镜包括使反射镜上下翻转的内轴和使反射镜左右翻转的外轴,反射镜还设置有用于驱动内轴旋转的第一组梳状驱动装置和用于驱动外轴旋转的第二组梳状驱动装置,第一组梳状驱动装置...
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