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一种提高长波红外光学薄膜与锗基片附着力的方法技术
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文档序号:9005186
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本发明公开了一种提高长波红外光学薄膜与锗基片附着力的方法,属于光学薄膜领域。所述方法包括基片的清洗、离子束轰击活化基片、过渡层的镀制、长波红外光学薄膜的镀制几个步骤。所述方法整个过程工艺稳定,重复性好,操作简便,可操作性强。采用所述方法镀制...
该专利属于兰州空间技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。
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