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一种Ti-Si-C纳米复合薄膜的制备方法，其目的是提供一种在大气和水环境中都具有低摩擦系数的Ti-Si-C纳米复合薄膜的制备方法，利用非平衡中频磁控溅射技术，使用TiSi条和石墨条按不同比例拼装成靶材，以氩气为溅射气体，通过调节靶材中TiS...
该专利属于兰州理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过兰州理工大学授权不得商用。

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