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本实用新型提供一种用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，包括：数字输入端口、数字输出端口、继电器模块、报警模块；数字输入端口用于输出控制信号给晶片加工机台；数字输出端口用于采集晶片加工机台的信号；继电器模块与数字输入端口和数字输出端口分别相...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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