下载用于晶体生长的热屏蔽内层的技术资料

文档序号:8993099

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本实用新型公开了一种用于晶体生长的热屏蔽内层,涉及晶体生长炉,所述热屏蔽内层由一组组件叠砌而成,所述组件包括圆弧形基体,该圆弧形基体两侧分别带有第一凸起和第二凸起,所述第一凸起前方为第一空体,所述第二凸起后方为第二空体;所述第一凸起与相邻组...
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