下载一种石墨烯铜线生产装置的技术资料

文档序号:8993032

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本实用新型涉及铜导线生产技术领域,公开了一种石墨烯铜线生产装置。包括化学气相沉积炉,其特征在于,所述化学气相沉积炉包括方形炉体及设于所述炉体内的方形沉积室,在所述炉底与室底之间,所述炉壁与室壁之间分别设有加热板;所述沉积室内竖直设有两个辊筒...
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