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本发明教示一种正交集成裁切设备及控制此设备的方法。所述裁切设备包含相对于面向待处理的衬底的座架以直角安装的两个裁切装置。通过使所述座架或非金属及/或易碎衬底沿两个正交轴线移动而在不使所述衬底旋转或移动到第二机器的情况下使所述衬底沿所述轴线分...
该专利属于电子科学工业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过电子科学工业有限公司授权不得商用。

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