下载用于微复制的冷却单元的技术资料

文档序号:8982586

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根据一个示例性实施例,公开了用于微复制的设备。该设备包括冷却单元(110),其包含底层(111)、多个侧壁(112)和中间层(113)。底层具有外周边和围绕底层的外周边的多个侧壁。中间层被定位在底层与侧壁的上部之间。中间层可以包括多个开口(...
该专利属于艾利丹尼森公司所有,仅供学习研究参考,未经过艾利丹尼森公司授权不得商用。

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