下载Si基中/长波叠层双色碲镉汞材料及其制备方法的技术资料

文档序号:8981390

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本发明公开了一种Si基中/长波叠层双色碲镉汞材料及其制备方法。该方法包括:进行外延级Si衬底清洗,去掉Si衬底的自然氧化层,形成人为氧化层;对Si衬底进行氧化层去除,并进行As钝化;采用迁移增强MME的方式生长ZnTe缓冲层,并随后进行Cd...
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