下载薄膜晶体管及其制造方法、阵列基板和显示装置的技术资料

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本发明涉及薄膜晶体管显示技术领域,公开了一种薄膜晶体管及其制造方法、阵列基板和显示装置,所述薄膜晶体管包括栅电极、有源层和源/漏电极,以及位于所述栅电极和有源层之间的栅绝缘层,其中:所述栅电极包括栅电极金属层和第一组保护层,所述第一组保护层...
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