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本发明提供一种ZnBaO?TFT生长工艺及TFT流片工艺，该ZnBaO生长工艺包括：1)腐蚀ITO玻璃；2)生长ZnBaO复合层结构，其中，ZnBao复合层TFT器件后期制备流程包括1)刻蚀Al；2)湿法腐蚀ZnBaO。在TFT流片工艺中，...
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