下载化合物半导体器件及其制造方法的技术资料

文档序号:8981371

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本申请公开一种化合物半导体器件及其制造方法。一种化合物半导体器件的实施例包括:电子渡越层;电子供应层,形成在电子渡越层的上方;二维电子气抑制层,形成在电子供应层的上方;绝缘膜,形成在二维电子气抑制层和电子渡越层的上方;以及栅极电极,形成在绝...
该专利属于富士通半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过富士通半导体股份有限公司授权不得商用。

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