下载异质结双极晶体管结构、其制造方法及其设计结构的技术资料

文档序号:8981369

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本发明提供了异质结双极晶体管(HBT)结构、其制造方法及其设计结构。所述HBT包括其中具有子集电极区域的半导体衬底。所述HBT结构还包括覆盖所述子集电极区域的一部分的集电极区域。所述HBT结构还包括覆盖所述集电极区域的至少一部分的内部基极层...
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