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用于测量纳米级金属薄膜厚度的SPR相位测量方法技术
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文档序号:8980180
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一种用于测量纳米级金属薄膜厚度的SPR相位测量方法,步骤一:建立TM偏振波和TE偏振波的相位变化量差值随金属薄膜厚度变化的标准曲线图,并求得对应的拟合公式;步骤二:获取棱镜型SPR传感器镀膜区域的镀膜干涉条纹图像;步骤三:获取棱镜型SPR传...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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