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用于研磨或抛光玻璃基板的至少一条边缘的方法技术
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文档序号:8978898
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本发明涉及一种用于研磨或抛光玻璃基板的至少一条边缘的方法。该方法包括:提供空气支承滑动系统,空气支承滑动系统构造成在加压空气薄层上沿预定轴线滑动,加压空气薄层提供零摩擦负载支承界面;将研磨单元联接到空气支承滑动系统,研磨单元构造成在对准位置...
该专利属于康宁股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过康宁股份有限公司授权不得商用。
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