温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种用于光阻涂布设备的接触式浸润槽，包括浸润槽主体和涂布喷头，所述涂布喷头的末端设有喷嘴，在浸润槽中增设有限定部件，限定部件夹持在涂布喷头的端部，使得仅所述涂布喷头的喷嘴浸入浸润槽主体承载的溶剂中。通过限定部件支撑所述喷头，并将...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。