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一种磁瓦罩壳组件内径高度快速检测装置,其特征在于:包括底座及设于底座上的内径检测部和接触式位移传感器;内径检测部下端固定连接在底座上,上端设有内径检测头,该内径检测头具有刚性的圆形外缘,圆形外缘的直径等于磁瓦罩壳组件中两个磁瓦内弧面所在圆柱...该专利属于苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司授权不得商用。
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一种磁瓦罩壳组件内径高度快速检测装置,其特征在于:包括底座及设于底座上的内径检测部和接触式位移传感器;内径检测部下端固定连接在底座上,上端设有内径检测头,该内径检测头具有刚性的圆形外缘,圆形外缘的直径等于磁瓦罩壳组件中两个磁瓦内弧面所在圆柱...