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本实用新型涉及太阳能电池片制造，等离子体增强化学气相沉积板式PECVD设备专用电加热器技术领域，尤其是一种新型电加热器。它包括包括真空腔侧壁和置于真空腔侧壁内的加热器外表面和水冷流道，所述加热器外表面通过出线套管分别与电源线接头和温度传感器...
该专利属于常州比太科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州比太科技有限公司授权不得商用。

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