下载制造高密度氧化锡铟(ITO)溅射靶的技术资料

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提供了制造氧化锡铟(ITO)溅射靶的方法。所述方法包括:沉淀氢氧化铟和氢氧化锡、煅烧氢氧化物、以生产颗粒状ITO粉末、使用添加剂(如专门的烧结助剂、分散剂和粘结剂)制备ITO粉末的含水浆液、研磨浆液以得到粉浆、使用多孔铸模通过浇注粉浆制备压...
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