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本发明公开了一种硅片缓冲装载装置，属于硅片样品光学测量技术领域。该装置包括硅片样品台和吸盘，吸盘与硅片样品台相配合，硅片样品台具有底座，还包括缓冲机构，缓冲机构连接于底座，缓冲机构包括接触平台和升降机构，接触平台固定连接于升降机构，接触平台...该专利属于北京智朗芯光科技有限公司;中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京智朗芯光科技有限公司;中国科学院微电子研究所授权不得商用。