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本发明是一种组合式光谱选择性吸收膜层快速沉积工艺，组合式光谱选择性吸收膜层由内至外由红外反射层、吸收层和减反层依次叠合组成；它采用磁控溅射方法得到红外反射层和吸收层，采用空心阴极气流溅射方法得到减反层。本发明工艺充分利用了磁控溅射方法制备的...
该专利属于日出东方太阳能股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日出东方太阳能股份有限公司授权不得商用。

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