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液体喷出头及其制造方法技术
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文档序号:8954405
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液体喷出头及其制造方法。一种液体喷出头的制造方法,包括下述步骤:(1)在基板的第二表面形成凹部以形成共用供给口,(2)形成蚀刻掩模,蚀刻掩模规定独立供给口的在共用供给口的底面的开口位置,以及(3)在采用蚀刻掩模作为掩模的状态下使用等离子体进...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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