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一种通用型离子源喷头制造技术
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下载一种通用型离子源喷头的技术资料
文档序号:8950592
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本实用新型涉及一种新型结构的通用型离子源喷头。它是将进液毛细管、进气管与高压导线都布置在喷头基体的尾部,其中,进液毛细管在中心,进气管在斜侧面,高压导线轴线与前述两者中心线所在平面垂直。进液毛细管在喷头基体尾部使用前、后卡套及螺头密封与固定...
该专利属于东华理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过东华理工大学授权不得商用。
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