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本实用新型属于光刻机调节装置，具体涉及一种投影物镜差分微调装置。所述投影物镜差分微调装置，其包括镜筒、镜座、均匀分布在镜筒圆周上的三个螺杆机构和与螺杆机构上下对应的相同数量的柱塞机构，镜座由螺杆机构和柱塞机构夹持，悬于镜筒内。螺杆机构和柱塞...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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