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一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置制造方法及图纸
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文档序号:8949073
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本实用新型公开了一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置,它包括机架(1),在机架(1)的上方设有回转台(4),两者通过回转支承(6)活动连接;在机架(1)内设有升降气缸(3)和灯架(7),所述升降气缸(3)的底部固定在机架(1)上,升降端与灯架(7...
该专利属于王后忠所有,仅供学习研究参考,未经过王后忠授权不得商用。
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