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本实用新型提供了一种利用光声光谱法检测硫酰氟气体残留浓度的装置，包括光源、斩波器、滤光片、光声池、微音器及红外湿度传感器；其中光源连接斩波器，与滤光片设置在光声池一侧；红外湿度传感器设置在光声池的另一侧；微音器设置在光声池的底部，光源发出光...
该专利属于江苏舒茨测控设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏舒茨测控设备有限公司授权不得商用。

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