下载一种可重复使用的LED外延磊晶衬底的技术资料

文档序号:8945219

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本实用新型公开了一种可重复使用的LED外延磊晶衬底,属于LED技术领域。所述的外延磊晶衬底为三合一复合衬底,有蓝宝石衬底、氮化铝、氮化镓构成,第一衬底层为蓝宝石衬底,第二衬底层为在PVD内生长的氮化铝层,第三衬底层为在HVPE内生长的氮化镓...
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