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本发明公开一种半导体晶圆传输装置，包括机械支撑架、驱动装置、步进电机以及机械手装置；机械支撑架包括由平行的立柱和滑轮轨道柱所固定的多个定位板；驱动装置由两组以上气囊垂直连成一体，固定在机械支撑架上并沿滑轮轨道柱进行垂直移动；驱动装置之一端安...
该专利属于无锡华瑛微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华瑛微电子技术有限公司授权不得商用。

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