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本发明涉及一种金属掩模板面形测量系统及其测量方法，包括：控制系统，通过软件自动完成对所述金属掩模板的测量；测量元件，对所述金属掩模板板面进行测量，并将测量数据及时反馈回给数据处理系统；数据处理系统，根据测试的数据进行模拟，从而得到金属掩膜板...
该专利属于昆山允升吉光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山允升吉光电科技有限公司授权不得商用。

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