下载一种电铸掩模板定位点的制备方法的技术资料

文档序号:8932410

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本发明提出一种电铸掩模板定位(Mark)点的制备方法,包括如下步骤:在制作图像文件时将Mark点设计为开口,通过曝光的方式进行成像,干膜显影后在Mark点处形成相应干膜;在显影后的芯模上进行第一次电铸,形成薄镀层,然后取出;将Mark点位置...
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