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一种非平衡动态拱形兼容轴向导引磁场辅助离子镀装置制造方法及图纸
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下载一种非平衡动态拱形兼容轴向导引磁场辅助离子镀装置的技术资料
文档序号:8932338
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本发明涉及表面防护涂层领域,具体地说是一种非平衡动态拱形兼容轴向导引磁场辅助离子镀装置,所述非平衡拱形轴向兼容磁场辅助离子镀装置具有支撑靶材的弧源主体、内耦合磁场发生装置,双层水冷的过渡传输法兰套与两套外耦合磁场发生装置(Ⅰ级、Ⅱ级外耦合磁...
该专利属于温州职业技术学院所有,仅供学习研究参考,未经过温州职业技术学院授权不得商用。
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