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本发明涉及一种用于在清洁处理之后控制物体、具体地是工件(16)的温度的设备(10)，所述设备具有被形成为冷却区和/或加热区的温控区(14)，气态流体能够在该温控区中绕所述物体循环。根据本发明，所述温控区(14)被形成在腔室(12)中，所述腔...
该专利属于杜尔艾科克林有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杜尔艾科克林有限公司授权不得商用。

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