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一种晶圆中心预对准方法，包括以下步骤：提供一旋转台电机，用以支撑旋转一晶圆；光学探测器，用以采集晶圆边缘数据和获取相对应的旋转台电机的码盘值；数据采样、数据转换、获取当前电机码盘值、直角坐标拟合、三点确定一个圆；通过多次进行三点拟合圆求均值...
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