温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种晶圆缺口边缘中心预对准方法，包括以下步骤：提供一旋转台电机，用以支撑旋转一晶圆；一传感器，用以采集晶圆边缘数据和获取相对应的旋转台电机的码盘值；该方法还包括：数据采样、数据转换、数据初处理、初处理数据归一化、归一化数据处理、缺口范围确定...
该专利属于沈阳新松机器人自动化股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳新松机器人自动化股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。