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本发明涉及抛光垫片。尤其，本发明的抛光垫片能够包括窗口区域。该窗口区域能够通过使用就地浇铸方法在垫片中形成。本发明的抛光垫片能够用于抛光制品和能够尤其用于微电子设备如半导体晶片的化学机械抛光或平面化。本发明的抛光垫片的窗口区域能够特别可用于...
该专利属于PPG工业俄亥俄公司所有，仅供学习研究参考，未经过PPG工业俄亥俄公司授权不得商用。

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