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本发明提出了一种用于光刻设备的对准4F光学系统，用于把物面上硅片对准标记成像在参考光栅板后表面，其特征在于，从物面开始沿光轴依次包括前组透镜L1、L2、L3，经偏振分束器PBS组件分光后，分为红光后组透镜L4、L5、L6和绿光后组透镜L4'...
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