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本发明属于计量测试技术领域，涉及的铟镓氮晶片外延层中铟元素含量的测试方法铝采用碱熔法对铟镓氮晶片外延层进行表面刻蚀，用硫酸中和刻蚀液，用硫酸或氨水进行酸度调节，采用铟—乙基紫络合显色体系，用分光光度法测定络合体系的吸光度，计算得到铟镓氮晶片...
该专利属于中国兵器工业集团第五三研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国兵器工业集团第五三研究所授权不得商用。

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