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立式鼠笼分子泵制造技术
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文档序号:8904771
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本发明推出了一种立式鼠笼分子泵,由动鼠笼、静鼠笼、转轴和吸气口、排气口等组成,其特点是环绕转轴从外圈向内圈相间安装多个不同直径的动鼠笼和静鼠笼组成立式鼠笼分子泵的抽气单元,通过高速旋转的动鼠笼和相对动鼠笼静止不动的静鼠笼与气体分子的互相碰撞...
该专利属于李晨所有,仅供学习研究参考,未经过李晨授权不得商用。
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