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本发明涉及一种快速制备碳／碳复合材料坩埚的窄流感应耦合CVD致密化方法。该方法包括采用化学气相沉积工艺，在窄缝气流和感应耦合的协同作用下，高温反应室通入小分子烃和N2气混合气体，小分子烃在碳纤维坩埚预制体或低密度碳／碳复合材料坩埚坯体内部孔...
该专利属于山东国晶新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东国晶新材料有限公司授权不得商用。

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