下载通过钠还原四氟化硅制备太阳能级多晶硅的装置和方法的技术资料

文档序号:8902280

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本发明涉及一种通过钠还原四氟化硅法制备太阳能级多晶硅的装置和方法。该装置包括上下两室,上室为反应室,两室由通道相连接;上室内置石墨反应坩埚,石墨坩埚外围设有加热元件;石墨坩埚内底部呈倒锥形,中心开孔供液体物料坠入下室;该孔上覆盖一石墨双锥台...
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