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干式真空系统技术方案
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文档序号:8894736
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本实用新型属于真空系统技术领域,尤其涉及一种干式真空系统,包括真空容器,所述真空容器的出气口通过预真空管道连通螺杆真空泵的吸气口,所述螺杆真空泵的吸气口通过前级管道还依次串联有至少两级罗茨真空泵,所述串联首级的罗茨真空泵的吸气口通过高真空管...
该专利属于寿光市鲁源盐化有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过寿光市鲁源盐化有限公司授权不得商用。
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