下载基于结晶弛豫结构的固态发光器件的技术资料

文档序号:8886639

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本发明公开了一种用于制造具有多个光源的固态发光器件的方法,所述方法包括以下步骤:提供具有生长表面的衬底;在所述生长表面上提供掩模层,所述掩模层具有多个开口,通过所述多个开口,暴露所述生长表面,其中,所述开口中的每一个的最大横向尺寸小于0.3...
该专利属于皇家飞利浦电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过皇家飞利浦电子股份有限公司授权不得商用。

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