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文档序号:8886616
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一种具有大面积的极板和小的占用面积的半导体电容器(100,150),其中通过在晶片(310)中形成开口(320),通过位于从晶片(310)分离的第一掩膜板(214A)沉积第一金属原子(326),以便在开口(320)中形成第一金属层(330)...
该专利属于美国国家半导体公司所有,仅供学习研究参考,未经过美国国家半导体公司授权不得商用。
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